据Business Korea于4月1日的报导显示，因当比利时政府的严格的环保政策影响，消费品和工业用品制造大厂3M位于比利时佛兰德斯的 Zwijndrecht（兹韦恩德雷赫特）工厂被“无限期关闭”。
由于该厂所生产的半导体冷却剂（电子级氟化液）占据了全球80%的产能，此举或将导致本就紧张的全球半导体制造产能再遭冲击。
3M半导体冷却剂工厂被关闭，全球晶圆制造或受影响
报导称，3M比利时工厂的关闭与比利时政府实施的与半导体冷却剂生产所排放的全氟/多氟烷基物质（PFAS）限制规定有关。
据悉，3M比利时半导体冷却剂工厂已于3月8日被通知关闭，3M在3月18日向客户发出了正式通知。
据了解，半导体冷却剂是半导体设备及相关制程当中所需的关键材料。目前，3M在全球半导体冷却剂市场的占有率为90%，而其位于比利时的工厂所生产的半导体冷却剂占据了占全球总产量的80%。
由于3M在全球半导体冷却剂市场的垄断地位，其客户包括了台积电、三星、SK海力士和英特尔等众多大厂，目前还无法确定3M比利时半导体冷却剂工厂的无限期关闭对于这些重要客户会造成多大的影响。
据业内人士透露，目前3M相关客户的半导体冷却剂的库存可承受一到三个月，除非在这段时间内解决这个问题，否则全球的晶圆制造业可能将面临巨大的冲击。
什么是半导体冷却剂？
半导体冷却剂实际上是应用于电子行业的一种氟化液，即电子级氟化液，具有无色、无味、低粘度、不导电、不易燃、无腐蚀性、高安全性，拥有非常稳定的物理和化学性质。可以被用作清洗剂、干燥剂、溶剂和冷却剂。
由于电子级氟化液所具有的更高的绝缘性等稳定的特性和清洗冷却的效果，它可以长时间使用而不会对电子设备及元器件造成任何损坏，并且在运行过程中不会污染空气，是一种理想的散热材料。可以被广泛的应用于半导体制造的冷却、数据中心的浸入式冷却，航空电子设备的喷雾冷却等。
在半导体制造过程中，为了在更小的尺寸下获得精确的加工能力，不仅在芯片制造的一些环节需要精确控制温度。同时，由于半导体产线是24小时长期不间断运转，相关的半导体设备也需要通过电子级氟化液来进行恒温冷却，以保障稳定运行。
以3M公司的FC-770电子级氟化液为例，其主要被用于半导体蚀刻设备、离子注入设备，化学气相沉积(CVD)的恒温冷却。
FC-770的倾点也非常低（倾点的物理意义是反映油品低温流动性的好坏的参数之一，倾点越低，油品的低温流动性越好），所以可以用于冷热冲击试验及其他各种测试。该产品价格也非常高昂，在阿里巴巴上的报价高达16800元/20kg。
△3M FC-7200 电子氟化液的潜在生物累积性说明
不过，氟化液及其生产排放的全氟/多氟烷基物质对于生物体来说，具有潜在的生物累积性，在人体内累积久后可能导致激素紊乱。因此，美国、欧盟都在收紧法规，尽量减少排放。
Zwijndrecht工厂污染问题由来已久，去年10月曾部分停产
据外媒报道，早在1971年，3M公司就开始在比利时的Zwijndrecht生产一种叫“全氟辛烷磺酸”（PFOS，属于PFAS物质）的化学产品。
据悉，PFOS在自然界中难以分解，会持续在环境及生物链当中累积，对免疫系统会产生不利影响，也会破坏甲状腺功能；在怀孕期间，还会导致许多胎儿发育的问题。
3M公司 2008 年环境许可证中列出的 PFOS的浓度的最大值为每升 30 微克。但佛兰德斯政府相关部门定期测量的3M工厂的废水中PFOS的浓度则超过了500微克，是最高标准的16倍！
据称，在 Zwijndrecht 工厂附近，污染超标程度比正常数值要高26倍，小鼠记录到的PFOS 水平达到了有史以来全世界在活生物体中测得的最高水平。
为了解决污染问题，2018年11月，经佛兰德斯政府批准，Lantis（管理安特卫普周边交通项目的公共机构）与 3M 签署协议规定：政府将投入 6300 万欧元来清理受污染最严重的土地，而3M 必须保证建造价值 75000 欧元的安全护堤，政府承诺不追究 3M 对 PFOS 污染的责任。
不过，这一污染问题直到2021年才经由媒体广泛报道公之于众，成为了当地的一大丑闻。
在舆论的压力之下，2021年10月29日，比利时佛兰德斯环境监管机关再度要求3M比利时Zwijndrecht工厂执行新的安全措施，此举也直接导致了该工厂的部分生产业务立即暂停。随后，3M公司提出暂停实施新安全措施的申请，但是于2021年11月15日拒绝。
随后，3M公司向客户发出通知，称受比利时政府的命令影响，预计相关产业的供应将被中断。“无论3M订单系统是否自动确认接受订单，未来上述产品的订单都可能无法发货。”
3M宣布追加1.5亿欧元投资，以减少PFAS排放
根据3M官网的新闻稿显示，为了解决比利时Zwijndrecht工厂的全氟和多氟烷基物质（PFAS）的传统制造和排放物处置问题，3M公司已于3月30日宣布，对该工厂追加1.5亿欧元的投资，以进一步减少PFAS排放、继续运行非 PFAS相关制造，以及重新启动先前闲置的PFAS相关制造处理流程。
据介绍，3M除了正在进一步减少其运营中的 PFAS 排放，还设计并启动了一个废水处理系统，该系统有助于显着减少其 Zwijndrecht 工厂的 PFAS 排放，同时3M还将继续与相关当局合作解决影响该设施运营的废水排放许可证修改问题。
3M董事长兼首席执行官迈克·罗曼（Mike Roman）表示：“我们希望与佛兰德斯当局建立建设性的合作关系，以解决所有利益相关者的担忧。今天是向我们在佛兰德斯地区履行更广泛承诺的又一重要步骤。”
“这些投资有助于加强我们的环境管理，并为 3M 在比利时的业务实现长期稳定。我们将继续在比利时推进和运营非 PFAS 相关制造，同时努力让更多支持 PFAS 的制造流程启动并运行符合当地的安全措施。”迈克·罗曼补充称：
“除了利用我们的全球制造足迹为我们的客户提供服务外，我们还在 Zwijndrecht 实施了新的控制措施，包括控制空气排放以及捕获、处置和处理水中 PFAS 的技术。这些投资以及适当的与有关当局合作，帮助我们将闲置的流程重新上线，使欧洲能够为我们在世界各地的客户生产基本产品。”
不过，截至目前，3M的比利时工厂仍未恢复生产。
责任编辑：万南文章纠错
话题标签：三星台积电晶圆3M
