2月2日，湖南凯美特气体股份有限公司 （以下简称“凯美特气”）发布公告称，公司控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司（以下简称“岳阳凯美特”）光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证。
根据公告，岳阳凯美特生产于2月2日收到Cymer公司发来的合格供应商认证函，岳阳凯美特生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查，Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。
资料显示，ASML子公司Cymer是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外技术的行业领导者，是ASML集团内一家独立运营的企业。
Cymer公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外（DUV）光源，开发、制造和服务深紫外（DUV）光源。
产品组合包括使用氟化氩（ArF）或氟化氪（KrF）气体产生深紫外光的准分子激光器。
凯美特气表示，公司光刻气产品通过Cymer公司的合格供应商认证，是Cymer公司对公司在光刻气生产领域的生产能力、产品质量的认可，也是公司先进的产品生产技术、钢瓶内壁处理技术、气体分析技术等各方面综合实力、竞争优势的体现。
国产化浪潮下，国内厂商遇良机……
电子气体是现代工业之基石，被誉为晶圆制造之“血液”，下游广泛应用于集成电路、面板、医疗、光纤等新兴行业和冶金、化工等传统行业。
电子特气在半导体晶圆制造应用中占比约70%，其次是面板显示市场占比约20%。
除此之外，电子特气还广泛应用于LED、太阳能电池、医疗健康等领域。
在集成电路等高端领域，电子气体被液化空气集团、林德集团、大阳日酸、日本昭和电工等国外气体公司垄断，国内厂商市场份额较小。
然而，近年来，随着全球晶圆厂的加速扩建以及产能的逐步释放，下游市场对电子特种气体的需求广阔。
另外，随着中国半导体制造的崛起，也加速推动了半导体材料的国产化进程。
有数据显示，2017-2021年，中国特种气体市场规模从175亿元增至342亿元，年复合增速达18%，预计到2026年中国特种气体行业的市场规模将达到808亿元，2021-2026年复合增长率为18.76%。
据悉，凯美特气并否国内首家获得ASML认证的电子特气厂商，在此之前，国内另一家电子特气上市公司华特气体自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4种混合气已于2017年得到ASML的认证。
此外，国内上市公司杭氧股份、金宏气体、 南大光电等也均在逐鹿高端电子特气领域。
责任编辑：宪瑞
